- 產(chǎn)品概述
- 規(guī)格參數(shù)
- 硬件選配
ST-3100等離子去膠機(jī)采用高密度低損傷等離子源設(shè)計(jì)，采用獨(dú)立腔室結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)均勻的流暢分布，去膠均勻性表現(xiàn)優(yōu)異。
應(yīng)用范圍
離子注入后光阻去除
表面殘留物清除
刻蝕后表面清潔
聚合物去除
BAW/SAW工藝中的光阻去除
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
暫無(wú)數(shù)據(jù)
設(shè)備整體參數(shù)
|
型號(hào)
|
ST3100 ST3200
|
|
PLASMA電源
|
RF RF
|
|
尺寸（L*W*H）
|
1300*1190*1847mm 1300*1650*1850mm
|
|
適用范圍
|
4-8寸 4-8寸
|
|
單次處理片數(shù)
|
1 2
|
SPE-201P-.png?5b6u5rOi562J56a75a2Q5aSE55CG5py6U1BFLTIwMVAtLnBuZw==)
 (1).jpg?UklF5Y676IO25py6ICgxKS5qcGc=)
