提供大氣等離子清洗機、真空等離子清洗機、寬幅等離子清洗機、微波等離子清洗機、等離子去膠機、接觸角測量儀、USC干式超聲波除塵、遠程等離子源RPS等一站式服務(wù)設(shè)備
為半導(dǎo)體行業(yè)提供半導(dǎo)體溫度管理系統(tǒng)
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全自動雙腔設(shè)計，可兼容6-8英寸WAFER
可測單晶片樣品的最大尺寸為12英寸
溫度可達1250℃，可測單晶片樣品最大尺寸為6英寸
