SPR-08是一款基于電感耦合等離子體技術(shù)的自成一體的原子發(fā)生器，它的功能是用于半導體設(shè)備工藝腔體原子級別的清潔，使用工藝氣體三氟化氮（NF3）/O2，在交變電場和磁場作用下，原材料氣體會被解離，從而釋放出自由基，活性離子進入工藝室與工藝室上沉積的污染材料（SIO/SIN）或者殘余氣體（H2O、O2、H2、N2）等物質(zhì)產(chǎn)生化學反應(yīng)，聚合為高活性氣態(tài)分子經(jīng)過真空泵組抽出處理腔室，提高處理腔室內(nèi)部潔凈度。

針對汽車內(nèi)飾件制程中植絨、包覆工藝前，通過晟鼎真空等離子進行表面處理，可有效提升PP等材料的表面活性，使其更易與包覆材料結(jié)合，從而提高包覆的牢固度和耐久性。

在線片式真空等離子清洗機主要用于半導體行業(yè)引線框架表面清洗產(chǎn)品表面污染物，提高表面活性，增強附著性能。

除塵頭兩側(cè)兩個吸氣口和中間一個吹氣口，中間吹氣口吹氣產(chǎn)生超聲波，使灰塵脫離產(chǎn)品表面，吸氣口把灰塵吸走，完成除塵

可做到聚合物去除、氧化硅或碳化硅刻蝕、刻蝕后表面清潔

可有效去除表面殘留物、介質(zhì)與介質(zhì)間光阻去除