等離子體概念：
對于物質(zhì)的存在，生活中感知最多的三種狀態(tài)：固體、液體、氣體。第四種狀態(tài)：等離子體。等離子體又名：電漿 ，英文：PLASMA 。
定義1：其形成是由部分電子被剝奪后的原子及原子團被電離后產(chǎn)生的正、負離子，從而組成得離子化氣體狀物質(zhì)；尺度大于德拜長度的宏觀電中性電離氣體，其運動主要受電磁力支配，并表現(xiàn)出顯著的集體行為。
定義2：等離子體是帶電粒子和中性粒子組成的表現(xiàn)出集體行為的一種準中性氣體。
等離子清洗機(plasma cleaner)，利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、自由基、光子以及其他中性粒子組成。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、改性、刻蝕、涂覆等目的。