在FPD行業(yè)前段制程中，微塵與污染物是影響良率與產(chǎn)品性能的關(guān)鍵瓶頸。傳統(tǒng)的清潔方式在面對納米級、靜電吸附的頑固微粒時，往往力不從心，或可能引入新的污染與損傷。行業(yè)亟需一種更高效、更精密的清潔解決方案。近年來，一種創(chuàng)新的USC干式超聲波除塵技術(shù)脫穎而出，它憑借非接觸、無損傷、高效率的特點(diǎn)，正逐步成為提升前段制程潔凈度的關(guān)鍵技術(shù)路徑，為面板制造的精密化發(fā)展提供了新的動力。
USC干式超聲波除塵技術(shù)的核心原理在于利用高頻超聲波在氣體介質(zhì)中產(chǎn)生的物理作用。其工作過程不依賴液體或化學(xué)溶劑，完全以干燥氣體為媒介。設(shè)備產(chǎn)生的高頻超聲波能有效擾動空氣分子，形成密集的聲壓振蕩場。當(dāng)帶有微粒的基板（如玻璃基板）穿過這個場域時，附著在其表面的微塵，特別是那些因靜電作用而緊密吸附的顆粒，會受到高頻振蕩力的沖擊，其附著力被大幅削弱，從而從基板表面剝離，并被定向氣流迅速帶走。
相較于傳統(tǒng)濕法清洗或某些接觸式清潔，USC干式超聲波除塵技術(shù)具備顯著優(yōu)勢。首先，其純物理的干式過程，徹底避免了液體清洗可能帶來的殘留水印、二次污染或化學(xué)品腐蝕風(fēng)險，這對于對表面狀態(tài)極其敏感的FPD前段薄膜與電路至關(guān)重要。其次，非接觸的特性確保了對脆弱基板與精密圖案的無損傷，為超薄、柔性面板的制造提供了可靠的清潔保障。此外，該技術(shù)響應(yīng)快速，易于集成到自動化生產(chǎn)線中，能實(shí)現(xiàn)不間斷的在線式清潔，大幅提升整體生產(chǎn)節(jié)拍與效率。
在FPD行業(yè)前段的具體應(yīng)用中，USC干式超聲波除塵系統(tǒng)的價值貫穿多個關(guān)鍵環(huán)節(jié)。對玻璃基板、偏光片等材料進(jìn)行高效除塵，是減少亮點(diǎn)、暗點(diǎn)缺陷，提升顯示均勻性與對比度的基礎(chǔ)保障。
技術(shù)的領(lǐng)先性需要強(qiáng)大的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)實(shí)踐作為支撐。以國內(nèi)表面處理與檢測解決方案提供商東莞市晟鼎精密儀器有限公司為例，其長期深耕FPD行業(yè)前段的精密清洗與處理領(lǐng)域，擁有對行業(yè)痛點(diǎn)的深刻理解。該公司通過持續(xù)的研發(fā)投入，致力于將創(chuàng)新的等離子技術(shù)、超聲波技術(shù)等與自動化方案深度結(jié)合，為包括FPD在內(nèi)的多個高端制造領(lǐng)域提供定制化的整體解決方案，其技術(shù)和服務(wù)已獲得眾多知名面板制造企業(yè)的長期信賴。
展望未來，隨著顯示技術(shù)向更高分辨率、更柔性化、更微型化發(fā)展，對制程潔凈度的要求將趨于嚴(yán)苛。干式超聲波除塵技術(shù)作為一種高效、環(huán)保、非接觸的清潔手段，其應(yīng)用潛力巨大。它不僅是解決當(dāng)前FPD前段制程微塵問題的有效工具，更將為下一代顯示技術(shù)的量產(chǎn)突破，鋪就一條更為潔凈、可靠的制造基石。行業(yè)的進(jìn)步，正依賴于此類核心工藝技術(shù)的持續(xù)迭代與革新。