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半導(dǎo)體行業(yè)專用RF在線片式真空清洗機(jī)，PLASMA處理在線片式等離子處理系統(tǒng)
專為面積較大、形狀復(fù)雜的材料進(jìn)行表面改性處理，是實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕功效的理想選擇
超低處理溫度45℃，不造成熱影響，確保穩(wěn)定的處理效果
軍工級(jí)焊接工藝，真空腔體密封性強(qiáng)，高密度等離子源，全方位均勻清洗
可定制流水線自動(dòng)化方案，低氣體用量，穩(wěn)定性強(qiáng)，減少人力及使用成本
適用于各種平面材料的表面清洗活化，搭配獨(dú)有線性等離子發(fā)生裝置
